产业孵化

INDUSTRY INCUBATION

高频响加速度传感器芯片

详细说明:


在机械故障诊断中的震动测量与实时监测,汽车工业等特定的应用领域经常需要较低量程的高频响加速度计。对于量程在数百到数千g的加速度传感器,由于微机械相对柔软,谐振频率因此较低,给动态测量带来困难。因而,对较低量程加速度传感器提出了高灵敏度,高频响的要求。具有体积小、结构一体化、单位成本低等优点。


参数:






量程:0~200g


尺寸:4000 um×4000um ×400 um


精度:优于0.2%FS


频响:10KHz


内阻:1.5KΩ


供电:恒流源


灵敏度:0.2μV /g/V


工作温度:-40℃ ~120℃